真空热蒸发镀膜仪适用于金属、有机薄膜等科研及教学场景，紧凑高效，操作便捷，支持100mm旋转工件。配置2对电阻蒸发源(2kW)、石英膜厚仪实时监测，触屏一键操作。4L机械泵+300L分子泵系统稳定高效率。
产品特点:
1.灵活全面的配置方案可根据实验精度与预算灵活选择，覆盖教学、基础研发、精密科研及特种薄膜制备等场景。2.优异的真空性能与效率泵组极限真空优于6X10Pa，减少薄膜氧化与杂质掺入。
3.精确的工艺控制能力精准、重复性强。
INFICON品振仪实时控膜厚，工艺数据
4.强大的样品处理与兼容性样品合旋转升降，兼容0100mm工件;选配加热台，优化薄膜成膜品质。5.智能化与易用性设计
触屏一键控真空，前开门品维护，操作门槛低。
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