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真空等离子体装置

MP-20微波等离子清洗机

  • MP-20 微波等离子清洗机，是小型真空微波式等离子表面精密处理设备，采用无电极微波激发等离子方案，无电极污染、等离子密度高、基材热损伤低，可完成样品纳米级干式清洗、表面活化、微量刻蚀、提升粘接键合附着力，全程环保无废液。核心亮点无电极微波等离子：避免电极溅射污染，等离子均匀性好，适合敏感精密试样紧凑型腔体设计：台式小巧机型，适配小样品、科研试样、小批量精密件触控智能控制系统：工艺配方存储、参数可...

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MP-20微波等离子清洗机海报.jpg

MP-20 微波等离子清洗机，是小型真空微波式等离子表面精密处理设备，采用无电极微波激发等离子方案，无电极污染、等离子密度高、基材热损伤低，可完成样品纳米级干式清洗、表面活化、微量刻蚀、提升粘接键合附着力，全程环保无废液。

核心亮点

  1. 无电极微波等离子：避免电极溅射污染，等离子均匀性好，适合敏感精密试样
  2. 紧凑型腔体设计：台式小巧机型，适配小样品、科研试样、小批量精密件
  3. 触控智能控制系统：工艺配方存储、参数可视化、联锁报警 + 急停安全防护
  4. 低温工艺：低自偏压，热敏基材不易灼伤，适配半导体、光学、生物材料

典型应用

半导体封装、芯片键合预处理、光学元件、PCB、高分子 / 陶瓷试样、生物医疗基材的残胶去除、有机污染物清洗、表面亲水活化，适合高校实验室、研发小试样试制。


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