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蒸发镀膜系统

DM200桌面式蒸发镀膜系统

  • 本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。主要技术参数:1. 真空室:∅220mm*H380mm;2. 最大可镀工件直径:60*60mm,配抽拉式样品台,样品可旋转;样品台配挡板;3. 极限真空度:8*10-5Pa(分子泵系统);4. 抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于30min(分子泵系统);5. 蒸发源:可配...
  • 产品详情

本设备是我公司研发用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。特别适合于高科技企业、科研单位和高校用于膜层研究和膜系开发。

主要技术参数:

1. 真空室:∅220mm*H380mm;2. 最大可镀工件直径:60*60mm,配抽拉式样品台,样品可旋转;样品台配挡板;

3. 极限真空度:8*10-5Pa(分子泵系统);4. 抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于30min(分子泵系统);5. 蒸发源:可配备1~2组金属或有机蒸发源;

6. 开启方式:正面开门结构,便于换丝及装料;7. 真空系统:分子泵+机械泵;

8. 水冷循环系统 0.5P;

9. 控制系统可选手动或触摸屏自动控制。


系统主要配置说明

项目

规格及说明

蒸发真空室

DN220*380,尺寸根据设计要求适当调整,上盖可开启,侧开门

分子泵

分子泵110L/S或150L/S

机械泵

DVR16 旋片泵,兼起预抽泵和前级泵作用

挡板阀

DN25电磁挡板阀,预抽管道通断

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

照明及烘烤装置

选配

各型法兰及观察窗

DN16、35、63、100

不锈钢管路、管接头

各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头

数显复合真空计

5227复合真空计或进口全量程规管可选

金属裸规

ZJ52T,ZJ27 金属接口

管路及接头

配混气室

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

进气等控制接口

手动或电控

转动基片架

基片旋转、基片架升降

升降装置

升降手动调整

基片加热装置

≤600℃  加热装置选配

温控电源

日本岛电温控,PID控温选配

蒸发源

水冷蒸发源,可选1~2组

蒸发电源

8-200A

设备机架

一体式布局

水气路系统

含冷却水机

控制系统

标配手动,可选触摸屏自动控制


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