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常见问题
04-13
2022
真空电镀设备膜厚的不均匀问题
无论监控仪精度怎样,它也只能控制真空室里单点位置的膜厚,一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是绝对均匀的,那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性,但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的,所以几乎是不可能消除的,...
04-13
2022
真空镀膜设备返油怎么维修?
1.如果真空规管没有损坏,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室内扩散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是最关键的,如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好,等现象 ,并不是因为电镀设备的损坏,而是因为真空室有油。2.如果是真空电镀设备的扩散泵经常返油...
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