真空镀膜设备返油怎么维修？

1.如果真空规管没有损坏,返油一般是不需要修理的,主要清洗真空室内扩散泵的油。最好使用汽油把真空室壁全部擦一遍再用酒精擦一遍。油一定要清干净是最关键的，如果室内还有油的存在,就会出现镀白膜,膜层质量很不好，等现象 ,并不是因为电镀设备的损坏,而是因为真空室有油。

2.如果是真空电镀设备的扩散泵经常返油可能是以下问题:

1）冷却水路不通畅或水压不够,导致冷却能力下降,扩散泵上半部分变热,油蒸汽不能良好液化。解决办法将扩散泵进水管接以4mpa的气源，吹出水垢,接出水管同样以4mpa吹。若水垢结的很多并且牢固,可通入稀盐酸。或者更换扩散泵。

2）加热温度过高,由于扩散泵加热器功率与额定功率不符,过高,造成蒸汽量大，可造成返油,更换电炉丝可解决。

3）加油量过高,加油量高容易导致蒸汽量循环缓慢，向下级压缩时滞留,造成返油,根据厂家提供信息进行加油量的控制可避免。

4）油氧化，扩散泵油氧化后，粘稠度和蒸汽流都受到影响，达不到喷射速度，自然就返到真空室内。可讲扩散泵拆下，将泵心取出，用120#汽油进行清洗,然后打磨，将结碳和黑色氧化层打磨掉, 再次用120#汽油清洗、晾于,然后安装,倒入扩散泵油或硅油,加热几次以后才可以投入工作。防止污染工件。

5）若扩散泵服役时间超过8-10年,或在恶劣的环境下使用，可考虑更换。提高工作效率及维护成本。