系统主要参数:
l 极限真空度:≤5×10-5Pa(清洁+烘烤去气条件下12小时内获得);
l 抽真空时间:40分钟内,≤5×10-4Pa;
l 基片加热温度:≤600℃(碘钨灯加热);
l 基片尺寸:≤Φ3inch的圆片;
l 靶材尺寸:2寸或3寸;
l 靶数量:3只;
l 真空室尺寸:400×400×H380~450(根据实际情况可能会适当调整);
l 基片架移动距离:≤50mm(轴向方向);
l 靶轴线和基片旋转轴线夹角:共溅射;
l 气路系统:4路进气,其中1路为放气使用;
系统主要配置说明
项目 | 规格及说明 | |
真 空 室 | 溅射真空室 | 400×400×H400mm,尺寸根据设计要求适当调整,测开门 |
超高真空节流阀 | DN200,电动控制,可选自动恒压功能 | |
分子泵 | 分子泵1200L/S | |
机械泵 | BSV30旋片泵,兼起预抽泵和前级泵作用 | |
挡板阀 | DN40电磁挡板阀,预抽管道通断 | |
截止阀 | 6mm双卡套接口电动截止阀 | |
照明及烘烤装置 | 烘烤选配 | |
各型法兰及观察窗 | DN16、35、63、100、200 | |
不锈钢管路、管接头 | 各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头 | |
真 空 测 量 与 进 气 | 数显复合真空计 | 5227复合真空计或进口全量程规管可选 |
金属裸规 | ZJ52T,ZJ27 金属接口 | |
质量流量控制器 | D07-7B质量流量控制器3套 | |
管路及接头 | 配混气室 | |
截止阀 | 6mm双卡套接口电动截止阀 | |
进气等控制接口 | 调压阀电动控制,可反馈 | |
样 品 架 | 转动基片架 | 基片旋转、基片架升降,基片偏压可选 |
升降装置 | 电动升降,带位置显示 | |
溅射基片加热装置 | ≤600℃ 加热装置选配 | |
温控电源 | 日本岛电温控,PID控温 | |
溅 射 系 统 | 磁控溅射靶 | 3组一体式溅射靶,可选2寸或3寸,带挡板 |
溅射电源 | 2台500W直流电源和1台500W自动匹配射频电源 | |
设备机架 | 一体式布局 | |
水气路系统 | 含冷却水机 | |
控制系统 | 标配触摸屏自动控制 |
0551-68859919