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溅射镀膜系统

DM400磁控溅射系统

  • 系统主要参数:l 极限真空度:510-5Pa(清洁+烘烤去气条件下12小时内获得); l 抽真空时间:40分钟内,510-4Pa;l 基片加热温度:600℃(碘钨灯加热);l 基片尺寸:Φ3inch的圆片;l 靶材尺寸:2寸或3寸;l 靶数量:3只;l 真空室尺寸:400400H380~450(根据实际情况可能会适当调整);l 基片架移动距离:50mm(轴向方向);l 靶轴线和基片旋转轴线夹角:共...
  • 产品详情

系统主要参数:

l 极限真空度:≤5×10-5Pa(清洁+烘烤去气条件下12小时内获得);

l 抽真空时间:40分钟内,≤5×10-4Pa;

l 基片加热温度:≤600℃(碘钨灯加热);

l 基片尺寸:≤Φ3inch的圆片;

l 靶材尺寸:2寸或3寸;

l 靶数量:3只;

l 真空室尺寸:400×400×H380~450(根据实际情况可能会适当调整);

l 基片架移动距离:≤50mm(轴向方向);

l 靶轴线和基片旋转轴线夹角:共溅射;

l 气路系统:4路进气,其中1路为放气使用;

系统主要配置说明

项目

规格及说明

溅射真空室

400×400×H400mm,尺寸根据设计要求适当调整,测开门

超高真空节流阀

DN200,电动控制,可选自动恒压功能

分子泵

分子泵1200L/S

机械泵

BSV30旋片泵,兼起预抽泵和前级泵作用

挡板阀

DN40电磁挡板阀,预抽管道通断

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

照明及烘烤装置

烘烤选配

各型法兰及观察窗

DN16、35、63、100、200

不锈钢管路、管接头

各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头

数显复合真空计

5227复合真空计或进口全量程规管可选

金属裸规

ZJ52T,ZJ27 金属接口

质量流量控制器

D07-7B质量流量控制器3套   

管路及接头

配混气室

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

进气等控制接口

调压阀电动控制,可反馈

转动基片架

基片旋转、基片架升降,基片偏压可选

升降装置

电动升降,带位置显示

溅射基片加热装置

≤600℃  加热装置选配

温控电源

日本岛电温控,PID控温

磁控溅射靶

3组一体式溅射靶,可选2寸或3寸,带挡板

溅射电源

2台500W直流电源和1台500W自动匹配射频电源

设备机架

一体式布局

水气路系统

含冷却水机

控制系统

标配触摸屏自动控制


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