该小型镀膜机具有结构紧凑且外观简洁大方，操作及保养容易且运行费用低廉。本装置主机和电控系统采用一体化设计。其中主机由设备机架、泵抽系统和真空室等部分组成。镀膜过程在溅射真空室内进行；电控部分采用标准控制机柜，内含各模块化插箱，系统功能强大且性能稳定。
该超高真空磁控溅射镀膜机的基本参数如下：
l 镀膜室极限真空：≤6×10-5Pa；
l 抽气时间：30 分钟内优于 6×10-4Pa；
l 真空室尺寸：300×300×H350mm，真空室采用不锈钢加工而成；
l 靶尺寸、数量：2 只 φ50mm 永磁靶；
l 靶基距可调（40~100mm,通过靶位调整）；
l 基片旋转：0~60 转/分可调；配加热，最高可加热至500度；
l 主机尺寸：约长 1100mm×宽 750mm×高 1650mm；
l 气体种类： 2 路 MFC ，工作气体 Ar+反应气体；
l 膜厚测量：配备一套石英晶振膜厚仪及原装探头（选配）；
l 控制系统：采用触摸屏+PLC 控制，控制包括泵、阀等启停及各输出报警等功能；
系统主要配置说明
项目 | 规格及说明 | |
真 空 室 | 溅射真空室 | 300×300×H350mm，尺寸根据设计要求适当调整，测开门 |
超高真空节流阀 | DN150,电动控制,可选自动恒压功能 | |
分子泵 | 分子泵620L/S | |
机械泵 | BSV30旋片泵，兼起预抽泵和前级泵作用 | |
挡板阀 | DN40电磁挡板阀，预抽管道通断 | |
截止阀 | 6mm双卡套接口电动截止阀 | |
照明及烘烤装置 | 烘烤选配 | |
各型法兰及观察窗 | DN16、35、63、100、150 | |
不锈钢管路、管接头 | 各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头 | |
真 空 测 量 与 进 气 | 数显复合真空计 | 5227复合真空计或进口全量程规管可选 |
金属裸规 | ZJ52T，ZJ27 金属接口 | |
质量流量控制器 | D07-7B质量流量控制器2套 量程50sccm和100sccm各一 | |
管路及接头 | 配混气室 | |
截止阀 | 6mm双卡套接口电动截止阀 | |
进气等控制接口 | 调压阀电动控制，可反馈 | |
样 品 架 | 转动基片架 | 基片旋转、基片架升降 |
升降装置 | 升降手动调整，电动可选 | |
溅射基片加热装置 | ≤600℃ 加热装置选配 | |
温控电源 | 日本岛电温控，PID控温 | |
溅 射 系 统 | 磁控溅射靶 | 2组一体式溅射靶，可选2寸或3寸，带挡板 |
溅射电源 | 500W直流和500W自动匹配射频电源各一 | |
设备机架 | 一体式布局 | |
水气路系统 | 含冷却水机 | |
控制系统 | 标配手动，可选触摸屏自动控制 | |
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