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真空等离子体装置

等离子体清洗、刻蚀机

  • 等离子体清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作 基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行 抽真空达到 0.02-0.03mbar 的真空度,再在等离子电源作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物 质第四态)。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电, 根据不同气体发出从...
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    等离子体清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作 基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行 抽真空达到 0.02-0.03mbar 的真空度,再在等离子电源作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物 质第四态)。等离子电源提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电, 根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光,材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

 

    反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的,利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀,即是利用离子能量来使被刻蚀层的表面形成容易刻蚀的损伤层和促进化学反应,同时离子还可清除表面生成物以露出清洁的刻蚀表面的作用。


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