设备概述:
手套箱蒸镀一体设备集成了电阻蒸发、有机束源炉蒸发是一台多功能的真空镀膜设备,系统可镀镀制各种金属薄膜等如:各种金属铝、银、铂、金、钴等,有机材料如:C60、NPB、TPBi等材料;镀膜腔体采用双面开门结构,正面采用滑动开门结构可与手套箱实现无缝对接,方便在手套箱中操作,后侧采用侧开门,方便对系统进行维护和清理。
系统主要配置如下:
一、真空室(超高真空设计)
1、304L不锈钢方形真空室,内部电抛光,真空室直径约宽400深400mm高450mm,立式前后开门结构;
2、前门导轨采用导轨导向,中间拉杆设计,节省手套箱空间的同时外观更协调;前门手轮压紧设计,避免了手动旋开不方便操作的同时有效解决了开后门时空气漏进手套箱里的情况出现。后门采用手动铰链结构,扣紧密封操作简单,配有DN100观察窗,观察窗配挡板;
3、真空室左侧连接主阀门和分子泵,真空测量接口。顶部安装旋转升降样品台、样品台大挡板及加热器热电偶接口。底板安装蒸发源、膜厚仪探头接口等组件,真空室门上1个带挡板的直径4英寸观察窗;配备防污玻璃;
4、集成的一体电控部分位于设备和手套箱下方。系统带万向轮和地脚,方便移动。
二、抽气系统(设备极限真空:6×10E-5Pa)
1、一套1200L分子泵作为主泵, 前级采用8L旋片式机械泵;
2、高真空阀门:气动控制,集成到主控系统控制;
3、粗抽阀 (DN40,气动);
4、前级阀 (FN40,气动);
5、放气阀 (DN6 ,电动)。
三、真空测量系统
1、一套数字式复合真空计;
2、自动控制切换低真空、高真空测量,真空测量范围从大气到1E-6Pa。
四、蒸发系统及膜厚控制(数量可选)
1、金属蒸发组件;
2、2组水冷蒸发电极,兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝,带有气动档板。配备2套数字式直流蒸发电源;
3、有机蒸发组件;
4、系统配备2套有机蒸发源,配备独立电源,带温控;
5、膜厚控制;
6、一套石英晶振膜厚仪,含1套水冷探头。
五、样品架系统
1、设备配有自转、升降工件盘,一次性放置最大不超过四寸样品一片。配有磁流体密封,电机控制,样品挡板采用电控气动;
2、高扭矩电机和控制器,转速0~30RPM可调;
3、主控系统控制开关,转速;
4、升降源基距150-250mm可调节,磁流体+步进电机控制;
5、随机配备掩膜板装置(具体尺寸按照用户要求订)。
六、控制系统
1、手动逻辑控制或触摸屏自动控制;
2、控制内容:机械泵,分子泵,气动、电磁阀门、真空计等等;
3、完整的互锁保护(硬件、软件互锁),设备处于完整互锁保护下,保障人员和设备安全,另外系统配备水流检测报警装置。
0551-68859919