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蒸发镀膜系统

DM500蒸发镀膜系统

  • 主要技术参数:1. 真空室:φ500*H650mm;2. 最大可镀工件直径:φ400mm伞形样品架;3. 极限真空度:优于6*10-5Pa;4. 抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于30min;5. 蒸发:电阻式蒸发电极(6~8对) 功率:2KW;配备3~4套数显蒸发电源,其中一套电源可切换至2组电极;6. 开启方式:正面开门结构,便于换丝及装料;7. 真空系统:机械泵+分子泵;8. 膜厚仪...
  • 产品详情

主要技术参数:

1. 真空室:φ500*H650mm;

2. 最大可镀工件直径:φ400mm伞形样品架;

3. 极限真空度:优于6*10-5Pa;

4. 抽气时间:大气压~6*10-4Pa小于30min;

5. 蒸发:电阻式蒸发电极(6~8对)   功率:2KW;配备3~4套数显蒸发电源,其中一套电源可切换至2组电极;

6. 开启方式:正面开门结构,便于换丝及装料;

7. 真空系统:机械泵+分子泵;

8. 膜厚仪:石英晶振膜厚仪膜厚仪  ,配水冷探头一套;

9. 水冷系统:系统配备一套冷却水循环系统。


系统主要配置说明

 

项目

规格及说明

真空室

蒸发真空室

φ500*H650mm,尺寸根据设计要求适当调整,侧开门

分子泵

分子泵1600L/S

机械泵

BSV40 旋片泵,兼起预抽泵和前级泵作用

挡板阀

DN40电磁挡板阀,预抽管道通断

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

照明及烘烤装置

选配

各型法兰及观察窗

DN16、35、63、100、250

不锈钢管路、管接头

各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头

真空测量与进气

数显复合真空计

5227复合真空计或进口全量程规管可选

金属裸规

ZJ52T,ZJ27 金属接口

管路及接头

配阀门

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

进气等控制接口

手动或电控

样品架

转动基片架

基片旋转、基片架升降

升降装置

升降手动调整或电动升降

基片加热装置

≤400℃  加热装置选配

温控电源

日本岛电温控,PID控温选配

蒸发系统

蒸发源

水冷蒸发源,可选3~4组

蒸发电源

8-200A,3~4套

高压轰击

等离子体清洗

膜厚仪

石英晶振膜厚仪,可选膜厚控制仪,自动镀膜

设备机架

分体式布局

水气路系统

含冷却水机

控制系统

标配手动,可选触摸屏自动控制


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