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蒸发镀膜系统

DM500 电子束蒸发镀膜系统

  • 该系统为单真空室配置,内置一套4~6工位电子枪及2组金属蒸发源,真空室尺寸500500650mm(根据设计需要适当调整),腔体采用304不锈钢加工而成,内表面抛光,外表面喷丸处理。为便于实验操作采用侧开门形式,抽气口后置,门上配备玻璃观察窗(含防污染挡板),镀膜过程在该真空室内完成。同时考虑到系统拓展需要,预留所需法兰接口。 电子枪及蒸发电极安装在真空底板上。电子枪选用功率为8KW、...
  • 产品详情

DM500 电子束蒸发镀膜系统(图1)


    该系统为单真空室配置,内置一套4~6工位电子枪及2组金属蒸发源,真空室尺寸500×500×650mm(根据设计需要适当调整),腔体采用304不锈钢加工而成,内表面抛光,外表面喷丸处理。为便于实验操作采用侧开门形式,抽气口后置,门上配备玻璃观察窗(含防污染挡板),镀膜过程在该真空室内完成。同时考虑到系统拓展需要,预留所需法兰接口。


    电子枪及蒸发电极安装在真空底板上。电子枪选用功率为8KW、六工位水冷坩埚E型电子枪。配备2组金属蒸发源,一套电源切换使用。


    基片架采用焊接波纹管+磁流体结构,样品托采用拱形结构,最大直径为100mm,蒸距450-550 mm可调,利用焊接波纹管变形获得。基片转速度3-60转/分,可控可调(步进电机控制)。


    此外根据需要可以选配高压轰击装置或离子源辅助沉积系统。


    系统标配膜厚测量仪,可选配膜厚控制仪,实现镀膜过程自动控制。


系统主要配置说明

 

项目

规格及说明

蒸发真空室

φ500*H650mm,尺寸根据设计要求适当调整,侧开门

分子泵

分子泵1600L/S

机械泵

BSV40 旋片泵,兼起预抽泵和前级泵作用

挡板阀

DN40电磁挡板阀,预抽管道通断

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

照明及烘烤装置

选配

各型法兰及观察窗

DN16、35、63、100、250

不锈钢管路、管接头

各种规格精密不锈钢管、波纹管、管接头

数显复合真空计

5227复合真空计或进口全量程规管可选

金属裸规

ZJ52T,ZJ27 金属接口

管路及接头

配阀门

截止阀

6mm双卡套接口电动截止阀

进气等控制接口

手动或电控

转动基片架

基片旋转、基片架升降

升降装置

升降手动调整或电动升降

基片加热装置

≤400℃  加热装置选配

温控电源

日本岛电温控,PID控温选配

电子枪

E型电子枪,4~6工位坩埚可选,10KW

蒸发源

水冷蒸发源,2组

蒸发电源

8-200A,1套

离子源系统

可选高压轰击或霍尔离子源

膜厚仪

石英晶振膜厚仪,可选膜厚控制仪,自动镀膜

设备机架

一体式布局

水气路系统

含冷却水机

控制系统

标配触摸屏自动控制


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