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溅射镀膜系统

非标磁控溅射系统 热压磁控溅射一体机

  • 该超高真空磁控溅射镀膜机的基本参数如下:l 镀膜室极限真空:610-5Pa;l 抽气时间:30分钟内优于810-4Pa;l 真空室尺寸:300mm300mmH400mm,真空室采用不锈钢加工而成,配玻璃观察窗;l 靶尺寸、数量:2只φ50mm永磁靶(一体式);l 溅射电源:2台500W数字式直流溅射电源;l 压力控制,配备薄膜规与电动蝶阀实现恒压控制;l 水平移动距离0~80mm,配隔离板避免运动...
  • 产品详情

该超高真空磁控溅射镀膜机的基本参数如下:

l 镀膜室极限真空:≤6×10-5Pa;

l 抽气时间:30分钟内优于8×10-4Pa;

l 真空室尺寸:300mm×300mm×H400mm,真空室采用不锈钢加工而成,配玻璃观察窗;

l 靶尺寸、数量:2只φ50mm永磁靶(一体式);

l 溅射电源:2台500W数字式直流溅射电源;

l 压力控制,配备薄膜规与电动蝶阀实现恒压控制;

l 水平移动距离0~80mm,配隔离板避免运动过程中掉渣; 

l 热压系统:下基片加热温度:0~600℃连续可调。上板气动控制下压;

l 主机尺寸:长1060mm×宽600mm×高1600mm;(根据需要,尺寸会适当调整)

l 气体种类:2路质量流量控制器,2路进气;


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