该超高真空磁控溅射镀膜机的基本参数如下:
l 镀膜室极限真空:≤6×10-5Pa;
l 抽气时间:30分钟内优于8×10-4Pa;
l 真空室尺寸:300mm×300mm×H400mm,真空室采用不锈钢加工而成,配玻璃观察窗;
l 靶尺寸、数量:2只φ50mm永磁靶(一体式);
l 溅射电源:2台500W数字式直流溅射电源;
l 压力控制,配备薄膜规与电动蝶阀实现恒压控制;
l 水平移动距离0~80mm,配隔离板避免运动过程中掉渣;
l 热压系统:下基片加热温度:0~600℃连续可调。上板气动控制下压;
l 主机尺寸:长1060mm×宽600mm×高1600mm;(根据需要,尺寸会适当调整)
l 气体种类:2路质量流量控制器,2路进气;
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