该超高真空磁控溅射镀膜机的基本参数如下：
l 镀膜室极限真空：≤3×10-5Pa；
l 抽气时间：30分钟内优于8×10-4Pa；
l 真空室尺寸：450mm×H350mm，真空室采用不锈钢加工而成，配玻璃观察窗，侧门可开启；最大可镀300×300mm方片；
l 靶尺寸、数量：2只70*350mm永磁靶。靶材尺寸：70×350×5mm；
l 靶基距可调（40~80mm）；
l 反溅清洗与偏压：偏压-800V，可满足反溅清洗；
l 主机尺寸：长1060mm×宽600mm×高1600mm；（根据需要，尺寸会适当调整）
l 气体种类：工作气体Ar+反应气体；
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